Module de moteur linéaire en marbre à deux axes

Construit sur une base en granit de qualité 00 (sélectionné pour son faible coefficient de dilatation thermique et ses propriétés d'amortissement des vibrations), ce module de moteur linéaire en marbre à deux axes intègre deux axes de moteur linéaire haute performance avec des guides sur coussin d'air pour offrir une précision de répétition de ± 0,5 μm, idéal pour la lithographie des semi-conducteurs, le micro-usinage laser, l'inspection optique et les systèmes de métrologie de précision.

Conçu pour répondre aux limites des platines à deux axes en aluminium ou en acier (dérive thermique, vibration, faible rigidité), notre module moteur linéaire en marbre à deux axes élimine la déformation mécanique lors d'un mouvement à grande vitesse (jusqu'à 2 m/s par axe) et maintient une précision constante à toutes les températures de fonctionnement (-10 ℃ à 40 ℃). Le système de contrôle synchrone de l'axe X-Y (basé sur EtherCAT) permet une synchronisation de mouvement au niveau nanométrique, essentielle pour les processus d'ultra-précision tels que le conditionnement de puces de 7 nm, la fabrication de composants micro-optiques et la mesure 3D avancée.

Fabriqué selon les normes de qualité optique ISO 9001:2015 et ISO 10110, le module moteur linéaire en marbre à deux axes comprend un système de gestion des câbles scellé, un revêtement antistatique et des options compatibles sous vide (pour une utilisation en salle blanche de semi-conducteurs). Compatible avec les contrôleurs de mouvement leaders du secteur (Aerotech, PI, Newport) et les systèmes de métrologie (interféromètres laser Renishaw), il s'intègre parfaitement aux lignes de fabrication d'ultra-précision, améliorant le rendement du processus jusqu'à 20 % par rapport aux platines classiques à deux axes à base métallique.

Série de produits

Série DT-GM-DX1 (précision compacte)

Plage de déplacement X-Y : 100 × 100 mm à 500 × 500 mm, précision de répétition de ± 0,5 μm, vitesse maximale de 1 m/s par axe. Idéal pour l'usinage de composants micro-optiques, la métrologie de précision et le conditionnement de semi-conducteurs de petit format.

Série DT-GM-DX2 (haute vitesse de milieu de gamme)

Plage de déplacement X-Y : 500 × 500 mm à 1 000 × 1 000 mm, précision de répétition de ± 1 μm, vitesse maximale de 2 m/s par axe. Convient au micro-usinage laser, à la réparation de panneaux LCD, à l'inspection optique moyen format.

Série DT-GM-DX-VAC (compatible avec le vide)

Plage de déplacement X-Y : 100 × 100 mm à 800 × 800 mm, précision de répétition de ± 0,5 μm, indice de vide 10⁻⁶ mbar. Conçu pour les applications en salle blanche de semi-conducteurs, le revêtement sous vide et les systèmes de simulation spatiale.

Avantages principaux

1. Base en granit de qualité 00 pour une stabilité inégalée

Construite à partir de granit naturel de qualité 00 (coefficient de dilatation thermique ≤0,5×10⁻⁶/℃), la base offre une stabilité thermique exceptionnelle (≤0,001 mm/℃) et un amortissement des vibrations (atténue 80 % des vibrations à haute fréquence). Cela élimine la dérive thermique et la résonance mécanique (problèmes courants avec les platines à base de métal) dans les processus de fabrication d'ultra-précision.

2. Précision submicronique avec guides sur coussin d'air

Les guides linéaires à coussin d'air intégrés (au lieu des roulements à billes traditionnels) éliminent la friction et l'usure, atteignant une précision de positionnement répétée de ± 0,5 μm et une résolution de 1 nm (via les codeurs absolus Renishaw). La conception sans contact garantit un fonctionnement sans entretien sur 100 millions de cycles, essentiel pour une production ultra-précise à grand volume.

3. Contrôle de mouvement synchrone sur l'axe X-Y

Le contrôle de mouvement en temps réel basé sur EtherCAT permet une synchronisation au niveau nanométrique entre les axes X et Y (erreur de synchronisation ≤ 50 nm), prenant en charge les profils de mouvement complexes (interpolation circulaire, balayage en spirale) requis pour le micro-usinage laser et la modélisation optique. L'architecture ouverte est compatible avec les logiciels de mouvement tiers (LabVIEW, MATLAB).

4. Haute rigidité et faible déformation

La structure en granit renforcée avec nervures intégrées offre une rigidité ≥300N/μm, minimisant la déflexion sous des charges dynamiques (jusqu'à 50 kg par axe). Cette stabilité garantit une précision constante même lors d'accélérations à grande vitesse (1 g), réduisant ainsi les variations de processus et améliorant le rendement du produit.

5. Personnalisable pour les applications d'ultra-précision

Personnalisation complète de la plage de déplacement (100 × 100 mm à 1 000 × 1 000 mm), de la résolution du codeur (1 nm à 1 μm), de la compatibilité avec le vide (10⁻³ à 10⁻⁶ mbar) et de la finition de surface (Ra ≤0,02 μm). Les fonctionnalités optionnelles incluent un revêtement antistatique, des matériaux compatibles avec les salles blanches et une interférométrie laser intégrée pour l'étalonnage in situ.

6. Fiabilité de qualité industrielle pour une utilisation en salle blanche

L'indice de protection IP67 (standard)/IP68 (version sous vide), le revêtement antistatique (10⁶-10⁹ Ω/m²) et la faible émission de particules (conforme aux salles blanches de classe 1) le rendent adapté aux usines de fabrication de semi-conducteurs et aux salles blanches de fabrication optique. MTBF ≥40 000 heures en fonctionnement continu, réduisant le coût total de possession (TCO) de 30 % sur 5 ans.

Spécifications techniques

Base en granit (grade 00) Précision de positionnement répétée ± 0,5 μm Mouvement synchrone sur l'axe Y Stabilité thermique (≤ 0,001 mm/℃) Haute rigidité (≥ 300 N/μm)

Scénarios d'application

Les modules de moteurs linéaires en marbre à deux axes de Deaote sont conçus pour une fabrication ultra-précise dans les secteurs mondiaux de haute technologie :

● Semi-conducteurs et microélectronique : conditionnement de puces 7 nm/5 nm, inspection de plaquettes, alignement lithographique, fabrication de dispositifs MEMS

● Fabrication optique : usinage de composants micro-optiques (lentilles, prismes), assemblage de réseaux de fibres optiques, modelage laser de substrats en verre

● Métrologie de précision : mesure optique 3D, étapes de mouvement d'une machine à mesurer tridimensionnelle (MMT), profilage de surface au niveau nanométrique

● Micro-usinage laser : Ablation laser, micro-perçage, gravure de précision de matériaux durs (silicium, saphir, céramique)

● Aéronautique & Défense : Fabrication de micro-capteurs, calibration de composants de navigation inertielle, assemblage de systèmes optiques satellites

À propos de Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. est une entreprise de haute technologie leader spécialisée dans la R&D, la fabrication et la vente de composants de mouvement d'ultra-précision, en mettant l'accent sur les modules de moteurs linéaires à base de granit pour les marchés mondiaux des semi-conducteurs, de l'optique et de l'aérospatiale. Avec plus de 15 ans d'expertise dans la conception de moules de précision et de systèmes de mouvement d'ultra-précision, nous servons des clients en Europe, en Amérique du Nord, au Japon et en Corée dans des secteurs manufacturiers haut de gamme.

Nos modules de moteurs linéaires en marbre à deux axes sont développés dans notre laboratoire de R&D dédié aux mouvements d'ultra-précision, tirant parti des technologies avancées d'usinage du granit (tolérance de ± 0,001 mm), d'étalonnage laser et d'assemblage de roulements à air pour atteindre une précision submicronique. Nous fournissons des services de personnalisation de bout en bout, de la conception et du prototypage de modules à l'étalonnage sur site et à l'assistance technique mondiale, garantissant que nos solutions répondent aux exigences uniques des lignes de fabrication d'ultra-précision.

Engagé en faveur d'une « précision au niveau nanométrique, stabilité pour toute une vie », Deaote investit 20 % de son chiffre d'affaires annuel en R&D pour développer des solutions de mouvement ultra-précis de nouvelle génération. Nos installations de production certifiées ISO 9001 : 2015 et ISO 10110 et notre réseau de services mondial garantissent des temps de réponse rapides (≤ 48 heures) et une assistance technique locale, ce qui fait de nous un partenaire de confiance pour les fabricants d'équipements d'ultra-précision haut de gamme dans le monde entier.