Test de plaquettes de 6 ou 8 pouces

Les tests de plaquettes de 6 ou 8 pouces de Deaote sont conçus pour répondre aux exigences strictes des tests au niveau des plaquettes, notamment une précision de positionnement submicronique, un contrôle stable de la force de contact et une compatibilité avec divers types de plaquettes. Cette station de sonde intègre des systèmes avancés de contrôle de mouvement, une technologie de mandrin à vide et une conception anti-vibration pour offrir des performances fiables et reproductibles pour la caractérisation électrique, les tests paramétriques et les tests de fiabilité des plaquettes semi-conductrices.

Construite grâce aux décennies d'expertise de Deaote dans la fabrication de moules de précision et de composants de mouvement, la station de sonde de test de plaquettes de 6 ou 8 pouces comprend une base en granit rigide et thermiquement stable et une platine XY ultra-précise, garantissant un alignement au niveau du micron entre les cartes de sonde et les matrices de plaquettes. Il est compatible avec une large gamme de cartes à sondes (verticales, cantilever, MEMS) et d'équipements de test (systèmes ATE, analyseurs paramétriques), ce qui le rend adapté à la fois à la R&D et aux tests de production en grand volume de puces logiques, de puces mémoire, de semi-conducteurs de puissance et de dispositifs optoélectroniques.

La conception modulaire de la station de sonde de test de plaquettes de 6 ou 8 pouces permet une personnalisation facile pour répondre à des exigences de test spécifiques, y compris des options de mandrin à température contrôlée (-40 ℃ à 150 ℃) pour les tests à haute/basse température, une manipulation automatisée des plaquettes pour une production à haut débit et une intégration transparente avec les systèmes d'acquisition de données. Notre solution aide les fabricants de semi-conducteurs et les laboratoires de tests à améliorer la précision des tests, à réduire les taux de fausses défaillances et à améliorer l'efficacité globale des tests.

Avantages principaux

1. Précision de positionnement submicronique

Équipée d'un codeur linéaire haute résolution en boucle fermée (résolution de 0,05 μm) et d'un étage XY sur coussin d'air, la station de sonde atteint une précision de positionnement répétée de ± 0,5 μm et une précision de positionnement absolue de ± 1 μm pour l'alignement des plaquettes. Cela garantit un contact précis entre les aiguilles de la sonde et les plaquettes (précision de contact ≤ 1 μm), éliminant ainsi les erreurs de test induites par un désalignement et garantissant des résultats de caractérisation électrique fiables.

2. Contrôle Stable de la Force de Contact

L'entraînement céramique piézoélectrique intégré et le système de détection de force permettent un contrôle précis de la force de contact de la sonde (0,1 g à 50 g par aiguille), avec une répartition uniforme de la force sur la carte de la sonde. Cela évite d'endommager les plaquettes (rayures, délaminage) et garantit une résistance de contact électrique constante, essentielle pour les applications de test de plaquettes à faible consommation et haute fréquence.

3. Conception thermiquement stable et anti-vibration

Construite avec une base en granit naturel (coefficient de dilatation thermique ultra faible ≤0,5×10⁻⁶/℃) et un système anti-vibration actif, la station de sonde minimise la dérive de position causée par les fluctuations de température et les vibrations externes. Le mandrin stabilisé en température (stabilité de température ±0,1 ℃) garantit en outre des conditions de test cohérentes, essentielles pour les tests paramétriques de haute précision des semi-conducteurs.

4. Compatibilité et flexibilité des plaquettes de 6/8 pouces

La station de sonde de test de plaquettes de 6 ou 8 pouces prend en charge une commutation transparente entre les tailles de plaquettes de 6 pouces et 8 pouces avec un mandrin à vide réglable et des guides d'alignement des plaquettes, pas besoin de remplacement de luminaire personnalisé. Il est compatible avec différents types de plaquettes (silicium, GaAs, SiC, GaN) et épaisseurs (100 μm à 775 μm), s'adaptant aux divers besoins de tests de semi-conducteurs (logique, mémoire, dispositifs de puissance, optoélectronique).

5. Débit élevé et opération facile

Les algorithmes de contrôle de mouvement optimisés permettent un mouvement rapide de la platine de tranche (vitesse maximale de 100 mm/s) et un positionnement rapide puce à puce (temps de stabilisation ≤ 50 ms), prenant en charge les tests à haut débit (jusqu'à 2 000 puces par heure). L'IHM à écran tactile intuitif et les logiciels compatibles (interfaces GPIB, USB, Ethernet) permettent une intégration facile avec les systèmes ATE et les flux de travail de test automatisés, réduisant ainsi le temps de formation des opérateurs et les erreurs humaines.

6. Faible entretien et longue durée de vie

L'étage à coussin d'air et les mécanismes d'entraînement sans contact éliminent l'usure mécanique, réduisant ainsi la fréquence de maintenance et prolongeant la durée de vie (MTBF ≥ 30 000 heures). La conception fermée avec système de filtration HEPA empêche la contamination par la poussière des plaquettes et des cartes de sonde, tandis que le degré de protection IP54 garantit un fonctionnement fiable dans les environnements de salle blanche (classe 1000/100).

Spécifications techniques

Scénarios d'application

Conçue exclusivement pour les tests de plaquettes de 6/8 pouces, notre station de sonde est largement utilisée dans les applications de test de semi-conducteurs suivantes :

● Tests paramétriques : caractérisation DC/AC des puces logiques, des puces mémoire (DRAM, NAND) et des semi-conducteurs de puissance (MOSFET, IGBT)

● Tests de fiabilité : cyclage haute/basse température, tests de rodage et tests de durée de vie des dispositifs semi-conducteurs

● Test de dispositifs optoélectroniques : test de diode laser (LD), de photodiode (PD) et de LED au niveau de la tranche

● Tests de semi-conducteurs composés : tests de plaquettes GaAs, SiC et GaN pour les dispositifs RF et de puissance

● R&D et production en petits lots : tests de prototypage et de validation de nouvelles conceptions de semi-conducteurs

À propos de Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. est une entreprise de haute technologie leader spécialisée dans la R&D, la fabrication et la vente de moules de précision, de composants de mouvement de haute précision et d'équipements de test de semi-conducteurs personnalisés. Avec plus de 15 ans d'expertise dans la fabrication de précision, nous servons des clients mondiaux dans les secteurs des semi-conducteurs, de l'électronique et de l'automatisation industrielle.

Notre station de sonde de test de plaquettes de 6 ou 8 pouces exploite notre technologie de moulage de précision de base et notre expertise en contrôle de mouvement pour relever les défis uniques des tests de plaquettes de semi-conducteurs. Nous fournissons des solutions de bout en bout, depuis la conception de stations de sonde personnalisées jusqu'à l'installation sur site, l'étalonnage et le support après-vente, garantissant que nos produits répondent aux normes les plus élevées de précision, de fiabilité et d'efficacité.

Engagé dans la démarche « La précision stimule le progrès, l'innovation crée de la valeur », Suzhou Deaote adhère à des systèmes de gestion de la qualité stricts (certifiés ISO 9001 : 2015) et à un investissement continu en R&D, fournissant des solutions de test qui aident nos clients à rester compétitifs dans l'industrie des semi-conducteurs en évolution rapide.