Test de tranche

S'appuyant sur plus de 15 années d'expertise de Deaote dans la fabrication de moules de précision et de composants de mouvement, les tests de plaquettes comportent une base de granit rigide, une structure thermiquement stabilisée et une conception anti-vibration pour garantir des performances constantes dans les environnements de salle blanche (classe 100/1000). Il prend en charge une intégration transparente avec les sondeurs de tranches, les microscopes optiques, les systèmes ATE (Automatic Test Equipment) et les outils d'acquisition de données, ce qui le rend idéal pour les tests de R&D et de production en grand volume de puces logiques, de dispositifs de mémoire, de semi-conducteurs de puissance et de semi-conducteurs composés (GaAs, SiC, GaN).

La conception modulaire des tests de plaquettes permet une personnalisation complète des plages de déplacement, des paramètres de vitesse/accélération et des interfaces de contrôle (GPIB, USB, Ethernet) pour correspondre aux flux de travail de test de plaquettes spécifiques. Notre solution permet aux fabricants de semi-conducteurs d'obtenir une précision de test plus élevée, de réduire les taux de fausses défaillances et d'améliorer le débit, ce qui est essentiel pour répondre aux exigences de miniaturisation et de performances des dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération.

Avantages principaux

1. Précision d'alignement submicronique sur 4 axes

Équipée d'encodeurs linéaires haute résolution (résolution de 0,05 μm) et de moteurs couple à entraînement direct pour l'axe Thêta, la plate-forme atteint une précision de positionnement répétée de ±0,5 μm (X/Y), une précision absolue de ±1 μm (X/Y), une précision de positionnement sur l'axe Z de ±2 μm et une précision angulaire de 0,001° sur l'axe thêta. Cela garantit un alignement précis entre les puces de tranche et les sondes de test/optiques d'inspection, éliminant ainsi les erreurs induites par un désalignement dans la caractérisation électrique et l'inspection optique.

2. Contrôle de mouvement rapide et stable

Les algorithmes de contrôle de mouvement optimisés et les guidages sur coussin d'air permettent un mouvement à grande vitesse (vitesse maximale X/Y : 150 mm/s, vitesse maximale de l'axe Z : 50 mm/s) avec un temps de stabilisation ultra-faible (≤ 30 ms pour X/Y, ≤ 50 ms pour Z). Le mécanisme d'entraînement sans contact élimine l'usure mécanique et le jeu, garantissant une stabilité de mouvement constante sur des millions de cycles, ce qui est essentiel pour les tests de plaquettes à haut débit (jusqu'à 2 500 puces par heure).

3. Conception thermiquement stable et anti-vibration

Construite avec une base en granit naturel (coefficient de dilatation thermique ≤0,5×10⁻⁶/℃) et un système d'isolation anti-vibration actif, la plate-forme minimise la dérive de position causée par les fluctuations de température (≤0,1μm/℃) et les vibrations externes. L'axe Z est doté d'un entraînement par vis à billes de précision avec compensation de précharge pour maintenir la stabilité pendant le positionnement vertical, essentiel pour le contrôle de la force de contact de la sonde (0,1 g à 100 g) lors des tests de plaquettes.

4. Large compatibilité et flexibilité des plaquettes

Le test de tranches prend en charge des tailles de tranches de 4 à 12 pouces avec des mandrins à vide réglables et des mécanismes de centrage automatique, sans nécessiter de remplacement de luminaire personnalisé. Il s'adapte à des épaisseurs de tranche de 50 μm à 800 μm et est compatible avec les tranches nues, les tranches à motifs et les boîtiers au niveau des tranches (WLP), s'adaptant ainsi à divers besoins de tests de semi-conducteurs (tests paramétriques DC, tests RF, inspection optique).

5. Compatible avec les salles blanches et nécessitant peu d’entretien

Conçu pour un fonctionnement en salle blanche de classe 100, le test de plaquettes comprend une enceinte scellée avec filtration HEPA pour empêcher la contamination par les particules des plaquettes et de l'équipement de test. L'indice de protection IP54 et les composants à coussin d'air sans lubrification réduisent les besoins de maintenance, prolongeant le temps moyen entre pannes (MTBF) à ≥ 35 000 heures dans des conditions de fonctionnement standard.

6. Intégration et personnalisation faciles

Compatible avec les logiciels de contrôle et les protocoles de communication standards de l'industrie (GPIB, RS232, Ethernet/IP), la plateforme s'intègre parfaitement aux systèmes de test de plaquettes existants. Suzhou Deoute offre une personnalisation complète des plages de déplacement (X/Y : 100 × 100 mm à 300 × 300 mm ; Z : 50 mm à 150 mm), de la plage de rotation de l'axe Thêta (±5° à ±10°) et du contrôle de la température du mandrin (-40 ℃ à 200 ℃) pour répondre aux exigences uniques des clients.

Spécifications techniques

Scénarios d'application

Conçue pour les tests et l'inspection de plaquettes sur 4 axes, notre plateforme XYZT est largement utilisée dans les applications de semi-conducteurs suivantes :

● Wafer Probing : caractérisation électrique (DC/AC/RF) des puces logiques, des dispositifs de mémoire DRAM/NAND et des semi-conducteurs de puissance (MOSFET, IGBT)

● Inspection optique : détection des défauts au niveau des tranches, alignement des motifs et métrologie pour la fabrication avancée de semi-conducteurs

● Tests de fiabilité : cyclage haute/basse température, tests de rodage et caractérisation de la durée de vie des semi-conducteurs composés (GaAs, SiC, GaN)

● Wafer-Level Packaging (WLP) : alignement et liaison de packages au niveau des tranches pour les applications électroniques grand public et automobiles

● Tests R&D : prototypage et validation de nouvelles conceptions de semi-conducteurs dans des environnements de laboratoire (personnalisables pour les tests en petits lots)

À propos de Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. est une entreprise de haute technologie leader spécialisée dans la R&D, la fabrication et la vente de plates-formes de mouvement de précision, de moules personnalisés et de composants de test de semi-conducteurs. Avec plus de 15 ans d'expertise dans la fabrication de précision, nous servons des clients mondiaux dans les secteurs des semi-conducteurs, de l'électronique et de l'automatisation industrielle en Europe, en Amérique du Nord, en Asie et au-delà.

Notre plateforme d'inspection de mouvement XYZT exploite nos compétences de base en matière de conception de moules de précision et d'ingénierie de contrôle de mouvement pour relever les défis uniques des tests de plaquettes de semi-conducteurs. Nous fournissons des solutions de bout en bout, depuis la conception et le prototypage de plates-formes personnalisées jusqu'à l'installation sur site, l'étalonnage et l'assistance technique à vie, garantissant que nos produits répondent aux normes les plus strictes de l'industrie en matière de précision et de fiabilité.

Engagé dans la démarche « La précision stimule le progrès, l'innovation crée de la valeur », Deaote est certifié ISO 9001 : 2015 et investit 15 % de son chiffre d'affaires annuel en R&D pour développer des solutions de mouvement de nouvelle génération pour l'industrie des semi-conducteurs. Notre réseau de service mondial garantit des temps de réponse rapides et une assistance locale à nos clients internationaux.