Scène de mouvement à portique XYZT pour l'inspection des plaquettes

Notre platine de mouvement à portique XYZT pour l'inspection des plaquettes intègre des bases en granit à haute rigidité, des guides sur coussin d'air, des entraînements par moteur linéaire et des codeurs optiques de précision pour atteindre une précision de positionnement de ± 1 µm et une répétabilité de ± 0,1 µm. Conçus pour un fonctionnement 24h/24 et 7j/7 dans des environnements de salle blanche (Classe 100/Classe 10), nos platines à portique présentent des vibrations ultra faibles, une réponse dynamique élevée (vitesse maximale de 500 mm/s) et une stabilité thermique pour garantir une détection fiable des défauts de tranche et une métrologie dimensionnelle tout au long du cycle de vie de production.

● Platine de mouvement à portique XYZT personnalisée pour l'inspection des plaquettes, conçue selon les spécifications de votre équipement d'inspection des plaquettes et les dessins CAO

● Précision de positionnement de ±1 µm avec répétabilité au niveau nanométrique (±0,1 µm) pour les mesures critiques des plaquettes

● Technologie sur coussin d'air pour un mouvement sans friction et une génération de particules nulle dans les environnements de salle blanche

● Conception thermiquement stabilisée avec contrôle actif de la température (±0,01°C) pour une ultra-haute précision

● Fabrication certifiée ISO 9001:2015 avec traçabilité complète pour la conformité de l'industrie des semi-conducteurs

Principales fonctionnalités et principaux avantages

Conception mécanique à haute rigidité

Notre platine de mouvement à portique XYZT pour l'inspection des plaquettes comprend des bases en granit monolithique (coefficient de dilatation thermique < 0,5 × 10⁻⁶/°C) et des poutres de portique en polymère renforcé de fibre de carbone (CFRP) pour une rigidité structurelle exceptionnelle et une déformation thermique minimale. La conception symétrique du portique élimine l'erreur d'Abbe et assure une répartition uniforme de la charge sur toute la zone d'inspection des plaquettes.

Système de contrôle de mouvement de précision

Intégrés à des entraînements par moteur linéaire haute performance (jeu nul, accélération élevée) et à des codeurs optiques absolus (résolution de 1 nm), nos platines à portique XYZT offrent un mouvement fluide et précis avec une précision submicronique. L'algorithme de servocommande avancé compense les erreurs dynamiques et garantit une stabilité de positionnement au niveau nanométrique pendant les opérations de numérisation des tranches.

Conception prête pour les salles blanches

Chaque platine de mouvement à portique XYZT pour l'inspection des plaquettes est conçue pour un fonctionnement en salle blanche de classe 100/classe 10 avec des composants compatibles sous vide, des guides linéaires scellés et des matériaux à faible dégazage (conformes à SEMI S2-0701). La technologie des coussinets d'air élimine la génération de particules, tandis que le système de gestion des câbles fermé empêche la contamination lors des cycles d'inspection à grande vitesse des plaquettes.

Spécifications techniques

Spécifications mécaniques

Matériau de base : granit noir (00级) / composite CFRP

Système de guidage : roulements à air de précision/guides à rouleaux linéaires

Système d'entraînement : moteurs linéaires sans balais/servomoteurs avec vis à billes

Commentaires : codeurs optiques absolus (résolution 1 nm)

Spécifications environnementales

● Température de fonctionnement : 20 ± 0,5 °C (contrôle thermique actif)

● Classement des salles blanches : Classe 100 (Classe ISO 5) / Classe 10 (Classe ISO 4)

● Isolation des vibrations : système de contrôle des vibrations actif/passif

● Alimentation : 200-240 V CA, 50/60 Hz, monophasé/triphasé

Applications

● Numérisation à grande vitesse de tranches de 200 mm/300 mm/450 mm pour détecter les défauts de particules et de motifs

● Positionnement au niveau nanométrique pour les systèmes de détection de défauts optiques/microscopiques

● Compensation dynamique de planéité pour l'inspection des plaquettes déformées

● Intégration avec les outils d'inspection par balayage laser et par microscopie électronique

Métrologie des plaquettes

Métrologie dimensionnelle des plaquettes

● Mesure précise de l'épaisseur de la plaquette, des paramètres d'arc et de déformation

● Alignement au niveau submicronique pour les systèmes de métrologie superposés

● Positionnement thermiquement stabilisé pour la métrologie sensible à la température

● Métrologie en ligne automatisée pour les processus de fabrication de plaquettes

Traitement des plaquettes

Traitement et manipulation des plaquettes

● Alignement de haute précision pour les processus de lithographie et de gravure de plaquettes

● Systèmes de manipulation et de transfert de plaquettes compatibles avec les salles blanches

● Positionnement dynamique pour les opérations de découpe laser et d'amincissement des plaquettes

● Intégration avec des systèmes robotisés de manipulation et d'automatisation des plaquettes